- абразивная суспензия
-
abrasive slurry
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог … Википедия