- vector-scan electron-beam lithography
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электронно-лучевая литография с векторным сканированием
Англо-русский словарь технических терминов. 2005.
vector-scan electron-beam lithography
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vector-scan electron-beam lithography — vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan electron beam lithography vok. Vektorscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с векторным сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
Electron beam lithography — (often abbreviated as e beam lithography) is the practice of scanning a beam of electrons in a patterned fashion across a surface covered with a film (called the resist),cite book |last= McCord |first=M. A. |coauthors=M. J. Rooks |title=… … Wikipedia
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lithographie par faisceau d'électrons avec balayage vectoriel — vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan electron beam lithography vok. Vektorscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с векторным сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
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электронно-лучевая литография с векторным сканированием — vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan electron beam lithography vok. Vektorscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с векторным сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
Elektronenstrahllithografie — Die Elektronenstrahllithografie (ESL, englisch electron beam lithography oft als e beam lithography abgekürzt) ist in der Mikro und Halbleitertechnik ein spezielles Verfahren zur Strukturierung einer Elektronenstrahl empfindlichen Schicht… … Deutsch Wikipedia
Lithographie a faisceau d'electrons — Lithographie à faisceau d électrons L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la… … Wikipédia en Français
Lithographie À Faisceau D'électrons — L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l avantage de… … Wikipédia en Français
Lithographie à faisceau d'électrons — L utilisation d un faisceau d électrons pour tracer des motifs sur une surface est connue sous le nom de lithographie par faisceau d électrons. On parle également de lithographie électronique. Par rapport à la photolithographie, l avantage de… … Wikipédia en Français
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