soluble photoresist

soluble photoresist
растворимый фоторезист

Англо-русский словарь технических терминов. 2005.

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  • Photolithography — For earlier uses of photolithography in printing, see Lithography. For the same process applied to metal, see Photochemical machining. Photolithography (or optical lithography ) is a process used in microfabrication to selectively remove parts of …   Wikipedia

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  • Multiple patterning — is a class of technologies developed for photolithography to enhance the feature density. The simplest case of multiple patterning is double patterning, where a conventional lithography process is enhanced to produce double the expected number of …   Wikipedia

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  • Photorésine — Résine photosensible La résine photosensible (appelée aussi photorésine et parfois photorésist) est un matériau photosensible utilisé dans de nombreux procédés industriels, comme la photolithographie ou la photogravure afin de former un… …   Wikipédia en Français

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  • Gravure (micro-fabrication) — La gravure (aussi appelée parfois par son nom anglophone, etching) est un procédé utilisée en micro fabrication, qui consiste à retirer une ou plusieurs couches de matériaux à la surface d un wafer. La gravure est une étape critique, extrêmement… …   Wikipédia en Français


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