- pulsed-annealed silicon
- кремний, подвергнутый импульсному отжигу
Большой англо-русский и русско-английский словарь. 2001.
Большой англо-русский и русско-английский словарь. 2001.
Microelectromechanical systems — (MEMS) (also written as micro electro mechanical, MicroElectroMechanical or microelectronic and microelectromechanical systems) is the technology of very small mechanical devices driven by electricity; it merges at the nano scale into… … Wikipedia