- технология микрообработки
- microfabrication technique, microstructure (fabrication) technique, microfabrication technology
Большой англо-русский и русско-английский словарь. 2001.
Большой англо-русский и русско-английский словарь. 2001.
Микроэлектромеханические системы — МЭМС сканер. На кристалле реализован привод зеркала и само … Википедия