- обратная фотолитография
- lift-off photolithography
Большой англо-русский и русско-английский словарь. 2001.
Большой англо-русский и русско-английский словарь. 2001.
Фотолитография — Линия фотолитографии для производства кремниевых пластин Фотолитография метод получения рисунка на тонкой плёнке материала, широко используется в микроэлектронике и в полиграфии. Один из … Википедия
Нанофлюидика — Пример реализации нанофлюидного устройства мембрана на основе массива нанокапилляров (NCAM). NCAM состоит из большого числа параллельных нанокапилляров, каждый из которых имеет радиус a/2, примерно соответствующий дебаевской длине κ−1 … Википедия