ТЕРМОД ЕСОРБЦИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ

ТЕРМОД ЕСОРБЦИОННАЯ СПЕКТРОМЕТРИЯ

-методы исследования адсорбционно-десорбционных процессов на поверхности твёрдого тела, помещённого в вакуумную камеру, путём измерения в ней давления газа или потока нейтральных частиц, десорбируемых с поверхности тела при её нагреве (т. е. при термодесорбции). Для регистрации десорбируемых частиц применяют ионизационные манометры и масс-спектрометры. Последние позволяют регистрировать до 10^-5. от адсорбированного монослоя (при площади поверхности 1 см ²). В качестве адсорбентов обычно используют грани монокристаллов, текстуриро-ванные ленты и поликристаллич. нити. Для получения параметров термодесорбции применяют программированный нагрев. Т. с. используется для определения концентрации адсорбированных частиц, энергии связи адсорбированных частиц с подложкой и друг с другом, а также для анализа фазовых переходов и хим. превращений в адсорбированных слоях. Десорбируемые радикалы могут вступать в реакции с газами, адсорбированными на внутр. стенках прибора, и вызывать десорбцию вторичных частиц, искажающую результаты анализа. Для подавления этих нежелательных эффектов стенки прибора покрывают пленкой активного вещества (при темп-ре жидкого азота), способного связывать попадающие на стенки частицы (режим "черной" камеры).

Лит.: Агеев В. Н., Адсорбционно-десорбционные процессы на поверхности твердого тела, "Поверхность, Физика, химия, механика", 1984, в. 3, с. 5. В. Н. Агеев.

Физическая энциклопедия. В 5-ти томах. — М.: Советская энциклопедия. Главный редактор А. М. Прохоров. 1988.