ТРАВЛЕНИЕ

ТРАВЛЕНИЕ

химическое, удаление части поверхностного слоя монокристалла, заготовки или изделия с помощью топохим. р-ций. Проводится с использованием р-ров, расплавов, газов (газовое Т.) или активир. газов (напр., плаз-мохимическое Т.). Собственно химическое Т. иногда сочетают с мех. воздействием, в качестве источника тепла и активатора при газовом Т. в ряде случаев используют лазеры.

Обработку пов-сти ионными пучками с высокой кинетич. энергией в вакууме (ионное, ионно-плазменное Т.) и частичную возгонку в вакууме (термическое Т.) обычно не относят к химическому Т.

В зависимости от морфологии получаемой пов-сти химическое Т. может быть выравнивающим (полирующим, шлифующим) и избирательным (селективным). При выравнивающем Т. происходит сглаживание рельефа пов-сти, уменьшение ее шероховатости, при избирательном Т.-увеличение неоднородности пов-сти, выявление дефектов структуры, границ двойников и доменов, растравливание трещин, царапин и т. п. Грани монокристаллов с разл. ориентацией раств. с разной скоростью. Поэтому избирательное Т. монокристаллов связано с образованием фигур (ямок) Т., форма к-рых определяется структурой кристалла, ориентацией пов-сти, видом дефектов и составом травителя, а кол-во-плотностью дефектов.

Выравнивающее Т. наблюдается обычно при протекании процесса в диффузионной области, а избирательное-в кинетич. области. Поэтому изменение т-ры, концентрации реагентов, гидродинамич. обстановки, введение добавок (в частности, ПАВ) могут изменить характер процесса, к-рый может стать комбинированным, напр.-с избират. действием в начальные периоды и выравнивающим в конце процесса. Наряду со сглаживанием рельефа пов-сти может происходить образование глубоких, иногда сквозных узких каналов.

Т. через защитные маски, нанесенные на пов-сть с помощью фотолитографии, с послед. удалением этих масок удается получать профили и детали заданных размеров. Миним. размеры профилей определяются разрешающей способностью фотолитографии, к-рая может достигать 1 мкм и менее. Главная трудность-отклонение боковых стенок вытравливаемого профиля от нормали к внеш. пов-сти-образование клина Т., растворение материала под защитной маской. Геометрия клина Т. определяется крис-таллич. структурой, ориентацией кристалла, размерами и ориентацией не защищенного маской участка пов-сти, кинетикой процесса.

Химическое Т. проводят с помощью в-в, позволяющих получать хорошо растворимые или (в случае газов) легко летучие продукты. Для Т. кремния, кварца, кварцевого стекла и силикатных стекол чаще всего используют водные р-ры на основе HF или NH4HF2, для Т. металлов-к-ты и их смеси, для плазмохимического Т. кремния и кварца-CF4, фторхлоруглероды и др. Наиб. предпочтительны р-ры, обладающие буферными св-вами.

Химическое Т. применяют в технологии монокристаллов, стекол и поликристаллов (металлов, сплавов, полупроводников и др. неорг. материалов) для очистки от окалины и др. поверхностных загрязнений, выявления дефектов структуры и двойников, определения кристаллографич. ориентации, удаления нарушенных слоев, придания пов-сти определенных св-в (полировка, шлифовка, загрубление, изменение к.-л. характеристик), для повышения мех. прочности изделий, для изготовления рельефа или деталей определенной формы, в частности в планарной технологии полупроводниковых приборов, при изготовлении резонаторов, частотных фильтров, хим. сенсоров и т. п.

Лит.: Травление полупроводников, пер. с англ., М., 1965; Амелинкс С., Методы прямого наблюдения дислокаций, пер. с англ., М., 1968; Пшеничников Ю. П., Выявление тонкой структуры кристаллов. Справочник, М., 1974; Хейман Р. Б., Растворение кристаллов. Теория и практика, пер. с нем., Л., 1979; Раков Э. Г., Федоров А. Е., в кн.: Итоги науки и техники, сер. Неорганическая химия, т. 15, М., 1988, с. 120-28. Э. Г. Раков.


Химическая энциклопедия. — М.: Советская энциклопедия. . 1988.

Синонимы:

Смотреть что такое "ТРАВЛЕНИЕ" в других словарях:

  • травление — 1. ТРАВЛЕНИЕ см. 1. Травить. 2. ТРАВЛЕНИЕ см. 2. Травить. * * * травление химическое или электрохимическое растворение поверхности твёрдых материалов с практической целью. Различают травление технологическое (удаление окалины, изготовление… …   Энциклопедический словарь

  • ТРАВЛЕНИЕ — химическое или электрохимическое растворение поверхности твердых материалов с практической целью. Различают травление технологическое (удаление окалины, изготовление интегральных схем и печатных плат, углубление пробельных участков типографских… …   Большой Энциклопедический словарь

  • травление — протравка, подтравливание, умерщвление, бейцовка, травка, бейцевание, выпуск, гальванокаустика, растворение, спускание, протравливание, выпускание, замор Словарь русских синонимов. травление сущ., кол во синонимов: 17 • бейцевание (5) …   Словарь синонимов

  • травление — Обработка поверхности основного покрываемого металла химическим или электрохимическим способом для растворения и удаления окислов или слоя металла. [ГОСТ 9.008 82] травление Процесс удаления материала (например, окисей или других тонких пленок)… …   Справочник технического переводчика

  • ТРАВЛЕНИЕ — 1. ТРАВЛЕНИЕ1, травления, мн. нет, ср. (спец.). Действие по гл. травить1 в 6 и 7 знач. 2. ТРАВЛЕНИЕ2, травления, мн. нет, ср. (мор., авиац.). Действие по гл. травить2. Толковый словарь Ушакова. Д.Н. Ушаков. 1935 1940 …   Толковый словарь Ушакова

  • ТРАВЛЕНИЕ — 1. ТРАВЛЕНИЕ1, травления, мн. нет, ср. (спец.). Действие по гл. травить1 в 6 и 7 знач. 2. ТРАВЛЕНИЕ2, травления, мн. нет, ср. (мор., авиац.). Действие по гл. травить2. Толковый словарь Ушакова. Д.Н. Ушаков. 1935 1940 …   Толковый словарь Ушакова

  • травление — ТРАВИТЬ 1, травлю, травишь; травленный; несов. Толковый словарь Ожегова. С.И. Ожегов, Н.Ю. Шведова. 1949 1992 …   Толковый словарь Ожегова

  • Травление — Не следует путать с Травля (значения). Фольгированный текстолит …   Википедия

  • Травление — [pickling] растворение поверхностных слоев твердых тел, чаще всего металлов и сплавов, с практической целью (в отличие от коррозии). Различают травление технологическое для обработки и изменения формы поверхности материалов и структурное для… …   Энциклопедический словарь по металлургии

  • Травление — 18. Травление I). Atzung К. Ething F. Dccapage Обработка поверхности основного металла или покрытия для растворения и удаления окислов или слоя металла Источник: ГОСТ 9.008 73: ЕСЗКС. Покрытия металлические и неметаллические неорганические.… …   Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации

  • Травление —         в технике, растворение поверхности твёрдых тел с практической целью (в отличие от коррозии (См. Коррозия)). Различают Т. технологическое для обработки и изменения формы поверхности металлов, полупроводников, стекла, древесины и др.… …   Большая советская энциклопедия

Книги

Другие книги по запросу «ТРАВЛЕНИЕ» >>


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»