plasmareaktor

  • 1Plasmareaktor für simultane Waferbehandlung — plazminis plokštelių grupinio apdorojimo reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma processing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferbehandlung, m rus. плазменный реактор для групповой обработки… …

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  • 2Plasmareaktor für simultane Waferoxidation — plazminis plokštelių grupinio oksidavimo reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma oxidizer; multiwafer plasma oxidizing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferoxidation, m rus. плазменный реактор… …

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  • 3zylinderförmiger Plasmareaktor — cilindrinis plazminis reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. cylindrical plasma reactor vok. zylinderförmiger Plasmareaktor, m rus. цилиндрический плазменный реактор, m pranc. réacteur cylindrique de plasma, m …

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  • 4Plasma-Ätzen — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… …

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  • 5Plasmaätzen — ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleiter , Mikrosystem und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen ist ein eher umgangssprachlicher Begriff …

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  • 6RIE-Prozess — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… …

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  • 7Acetylen — Ethin * * * Ace|ty|len 〈n. 11; unz.; fachsprachl.〉 = Azetylen * * * A|ce|ty|len [↑ Acet u. ↑ ylen], das; s; systematisches Syn.: Ethin: HCᆖCH; * * * Ace|ty|len usw.: ↑ …

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  • 8Hochtemperaturchemie — Hoch|tem|pe|ra|tur|che|mie 〈[ çe ] f.; ; unz.〉 Teilgebiet der techn. Chemie, das sich mit dem Ablauf von chem. Vorgängen bei Temperaturen über 1000 °C beschäftigt * * * Hoch|tem|pe|ra|tur|che|mie: Arbeitsgebiet der Chemie, das sich mit der… …

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  • 9multiwafer plasma processing reactor — plazminis plokštelių grupinio apdorojimo reaktorius statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma processing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferbehandlung, m rus. плазменный реактор для групповой обработки… …

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  • 10plazminis plokštelių grupinio apdorojimo reaktorius — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. multiwafer plasma processing reactor vok. Plasmareaktor für simultane Waferbehandlung, m rus. плазменный реактор для групповой обработки пластин, m pranc. réacteur de plasma pour traitement… …

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