геттерно-ионный вакуумный насос
1геттерно-ионный вакуумный насос — Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера. [ГОСТ 5197 85] Тематики вакуумная техника EN getter ion vacuum pump DE… …
2испарительно-ионный вакуумный насос — Геттерно ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения. [ГОСТ 5197 85] Тематики вакуумная техника EN sublimation ion vacuum pump DE… …
3магнитный электроразрядный вакуумный насос — Геттерно ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле. [ГОСТ 5197 85] Тематики вакуумная техника EN sputter ion pump DE Ionenzerstäuberpumpe FR pompe ionique à pulvérisation …
4ВАКУУМНЫЙ НАСОС — устройство для удаления газов и паров из замкнутого объёма с целью получения вакуума. В. н. делятся на проточные, к рые удаляют газ из откачиваемого объёма наружу, и сорбционные, связывающие газ внутри насоса. Существуют также спец.… …
5ГЕТТЕРНО-ИОННЫЙ НАСОС — геттерный вакуумный насос, в к ром наряду с хемосорбцией возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распылённого геттера. Различают испарительно ионные насосы, в к рых ионизиров. газ направляется к непрерывно …
6магнитный электроразрядный насос — 3.11 магнитный электроразрядный насос (sputter ion pump): Геттерно ионный вакуумный насос, в котором для распыления геттера используют газовый разряд в магнитном поле. Источник: ГОСТ Р 52615 2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования… …
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
7СОРБЦИОННЫЙ НАСОС — вакуумный насос. в к ром откачка происходит вследствие сорбции газа. Разновидностями С. н. являются адсорбционный, геттерный (напр., испарительно геттерный, геттерно ионный, магнитный электроразрядный) и криогенный вакуумные насосы …
8ГОСТ Р 52615-2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы — Терминология ГОСТ Р 52615 2006: Компрессоры и вакуумные насосы. Требования безопасности. Часть 2. Вакуумные насосы оригинал документа: 3.1 вакуум (vacuum): Состояние среды, абсолютное давление которой меньше атмосферного. Примечание Давление… …
Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
