быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы
1быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы — Термически ускоренный процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при высокой температуре, но за очень короткое время. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN RTCVDrapid thermal chemical… …
