PVD-процесс это:

PVD-процесс
Молекулярный уровень процесса PVD — модель

Напыление конденсацией из паровой (газовой) фазы (англ. physical vapour deposition; сокращённо PVD) обозначает группу методов напыления покрытий (тонких плёнок) в вакууме, при которых покрытие получается путём прямой конденсации пара наносимого материала.

Различают следующие стадии PVD-процесса:

  1. Создание газа (пара) из частиц, составляющих напыление;
  2. Транспорт пара к субстрату;
  3. Конденсация пара на субстрате и формирование покрытия;

Содержание

Введение

К группе PVD-методов относятся перечисленные ниже технологии, а также реактивные варианты этих процессов.

  • Методы испарения (англ. evaporative deposition);
    • Термическое испарение
    • Испарение электронным лучом (англ. electron beam evaporation);
    • Испарение лазерным лучом (англ. pulsed laser deposition, pulsed laser ablation): Атомы и ионы испаряются лазером, работающим в импульсном режиме.
    • Испарение электрической дугой (англ. cathodic arc deposition, Arc-PVD): Атомы и ионы освобождаются из исходного состояния материала в результате воздействия сильного тока, текущего в электрической дуге между двумя электродами, и переходят в газовую фазу.
    • Эпитаксия молекулярным лучом (англ. molecular beam epitaxy)
  • Распыление (англ. sputtering): Исходный материал распыляется бомбардировкой ионным потоком и переходит в газовую фазу.
    • Напыление с поддержкой ионным лучом (англ. ion beam assisted deposition, IBAD)
  • Имплантация ионов

Применение

PVD-процесс применяют для создания на поверхности деталей, инструментов и оборудования функциональных покрытий — износостойких, коррозионно-стойких, эрозионностойких, антифрикционных,антизадирных, барьерных и т. д Процесс используется при производстве часов с золотым покрытием.

Материалами для напыления служат диски из титана, алюминия, вольфрама, молибдена, железа, никеля, меди, графита, хрома и их сплавов; ацетилен (для покрытий, содержащих углерод); азот.

С помощью PVD-процесса получают покрытия толщиной до 5 мкм, обычно после нанесения покрытия поверхность не требует дополнительной обработки.

См. также

Примечания

Литература

  • Mattox, Donald M. Handbook of Physical Vapor Deposition (PVD) Processing: Film Formation, Adhesion, Surface Preparation and Contamination Control.. Westwood, N.J.: Noyes Publications, 1998. ISBN 0-8155-1422-0.
  • Powell, Carroll F., Joseph H. Oxley, and John Milton Blocher (editors). Vapor Deposition. The Electrochemical Society series. New York: Wiley, 1966.

Ссылки


Wikimedia Foundation. 2010.

Смотреть что такое "PVD-процесс" в других словарях:

  • CVD-процесс — Плазменная установка ускоряет рост углеродных нанотрубок в лабораторной установке PECVD. CVD процесс (англ. Chemical vapor deposition  химическое парофазное осаждение)  хим …   Википедия

  • физическое осаждение из газовой фазы — Термин физическое осаждение из газовой фазы Термин на английском physical vapour deposition Синонимы PVD процесс Аббревиатуры PVD Связанные термины химическое осаждение из паров металлорганических соединений Определение технология нанесения… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Вакуумно-дуговое нанесение покрытий — (катодно дуговое осаждение) это физический метод нанесения покрытий (тонких плёнок) в вакууме, путём конденсации на подложку (изделие, деталь) материала из плазменных потоков, генерируемых на катоде мишени в катодном пятне вакуумной дуги… …   Википедия

  • Технологии упрочнения металлов — Большинство деталей машин работают в условиях изнашивания, кавитации, циклических нагрузок, коррозии при криогенных или высоких температурах, при которых максимальные напряжения возникают в поверхностных слоях металла, где сосредоточены основные… …   Википедия

  • Методы упрочнения машин — Большинство деталей машин работают в условиях изнашивания, кавитации, циклических нагрузок, коррозии при криогенных или высоких температурах, при которых максимальные напряжения возникают в поверхностных слоях металла где сосредоточнены основные… …   Википедия

  • Нитрид титана — Нитрид титана …   Википедия

  • Антифрикционный материал — (от англ. friction трение) обладает повышенной устойчивостью к износу при продолжительном трении. Используется для покрытия трущихся поверхностей (например, в подшипниках скольжения). Например, такими материалами могут служить латунь,железографит …   Википедия

  • Антифрикционные покрытия — К антифрикционным покрытиям относятся покрытия, имеющие низкий коэффициент трения, их применяют для уменьшения износа и снижения трения скольжения. Материалы для этих покрытий должны иметь минимальный коэффициент трения, структура покрытия должна …   Википедия

  • Упрочнение поверхностей — Упрочнение поверхностей  технологический процесс обработки поверхностей материалов с целью повышения прочности поверхностного слоя или нанесения на поверхность упрочняющего покрытия. Разделяют следующие способы упрочнения поверхностей:… …   Википедия

  • Покрытие (материал) — У этого термина существуют и другие значения, см. Покрытие (значения). Покрытие в материаловедении это нанесённый на объект относительно тонкий поверхностный слой из другого материала. Целью нанесения покрытия является улучшение поверхностных… …   Википедия

Книги

Другие книги по запросу «PVD-процесс» >>


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»