Микроэлектромеханические системы это:

Микроэлектромеханические системы
МЭМС сканер. На кристалле реализован привод зеркала и само зеркало.

Микроэлектромеханические системы, МЭМС — технологии и устройства, объединяющие в себе микроэлектронные и микромеханические компоненты. МЭМС-устройства обычно изготавливают на кремниевой подложке с помощью технологии микрообработки, аналогично технологии изготовления однокристальных интегральных микросхем. Типичные размеры микромеханических элементов лежат в диапазоне от 1 микрометра до 100 микрометров, тогда как размеры кристалла МЭМС микросхемы имеют размеры от 20 микрометров до одного миллиметра.

Содержание

Применение

В настоящее время МЭМС технологии уже применяются для изготовления различных микросхем. Так, МЭМС-осцилляторы в некоторых применениях заменяют[1] кварцевые генераторы. МЭМС технологии применяются для создания разнообразных миниатюрных датчиков, таких как акселерометры, датчики угловых скоростей, гироскопы[2], магнитометрические датчики, барометрические датчики, анализаторы среды (например для оперативного анализа крови).

Материалы для производства МЭМС

МЭМС технология может быть реализована с использованием целого ряда различных материалов и технологий производства, выбор которых будет зависеть от создаваемого устройства и рыночного сектора, в котором он должен работать.

Кремний

Кремний является материалом, используемым для создания большинства интегрированных цепей, используемых в потребительской электроникe в современном мире. Распространенность, доступность дешевых высококачественных материалов и способность к применению в электронных схемах делает кремний привлекательным для применения его при изготовлении МЭМС.

Кремний также имеет значительные преимущества перед другими материалами благодаря своим физическим свойствам. Монокристалл кремния почти идеально подчиняется закону Гука. Это означает, что при деформации он не подвержен гистерезису и, следовательно, энергия деформации практически не рассеивается.

Также кремний очень надежен при сверхчастых движениях, так как он обладает очень малой усталостью и может работать в диапазоне от миллиардов до триллионов циклов без разрушения.

Основные методы получения всех МЭМС-устройств на основе кремния: осаждение слоев материала, структурирование этих слоев с помощью фотолитографии и травления для создания требуемой формы.

Полимеры

Несмотря на то, что электронная промышленность обеспечивает широкомасштабный спрос на продукцию кремниевой промышленности, кристаллический кремний по прежнему является сложным и сравнительно дорогим материалом для производства. Полимеры, с другой стороны, можно производить в больших объемах, с большим разнообразием характеристик материала. МЭМС устройства могут быть сделаны из полимеров с помощью таких процессов, как литьевое формование, штамповка или стереолитография; они особенно хорошо подходят для применения при изготовлении микрофлюидных устройств, таких, как одноразовые картриджи анализа крови.

Примечания

Ссылки



Wikimedia Foundation. 2010.

Смотреть что такое "Микроэлектромеханические системы" в других словарях:

  • микроэлектромеханические системы — Технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков [http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech Eng Rus.pdf] микроэлектромеханические системы… …   Справочник технического переводчика

  • микроэлектромеханические системы — Термин микроэлектромеханические системы Термин на английском Micro electro mechanical systems Синонимы Microelectromechanical systems, Micromachines (Japan), Micro Systems – MST (Europe) Аббревиатуры МЭМС, MEMS Связанные термины актуатор,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • микроэлектромеханические системы —  MEMS  (Micro Electro Mechanical Systems)  МЭМС (Микроэлектромеханические системы)   Интегрированные микроустройства или системы, комбинирующие электрические и механические компоненты, изготовленные по технологиям, совместимым с технологией… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • биомедицинские микроэлектромеханические системы — Термин биомедицинские микроэлектромеханические системы Термин на английском biomedical microelectromechanical systems Синонимы Аббревиатуры биоМЭМС, bioMEMS Связанные термины актуатор, антитело, биоинженерия, биосенсор, ДНК зонд, лаборатория на… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • интегральные микроэлектромеханические системы —  Integrated MicroElectroMechanical Systems  (IMEMS)  Интегральные микроэлектромеханические системы …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Микро(нано)электромеханические системы (MEMS/NEMS) — Статьиактуаторбиологические моторыбиомедицинские микроэлектромеханические системылаборатория на чипемикроэлектромеханические системымногофункциональные наночастицы в медицинесамособирающиеся монослоиэффект Джозефсона (Источник: «Словарь основных… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Микромеханические системы, наноприводы, наноманипуляторы — Статьиактуаторбиологические моторыбиомедицинские микроэлектромеханические системылаборатория на чипемикроморфологиямикроэлектромеханические системымногофункциональные наночастицы в медицинеоптический пинцет (Источник: «Словарь основных… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • наноэлектромеханические системы — Термин наноэлектромеханические системы Термин на английском Nanoelectromechanical systems Синонимы Аббревиатуры НЭМС, NEMS Связанные термины биоинженерия, биосенсор, лаборатория на чипе, микроэлектромеханические системы, многофункциональные… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Нанотехнологии и наноматериалы в медицине (диагностика, системы доставки лекарств, эксипиенты, восстановление тканей и органов, другое) — Статьиабляцияантисенс терапиябиологическая мембранабиологические моторыбиологические нанообъектыбиомедицинские микроэлектромеханические системыбиомиметикабиомиметические наноматериалыбиосенсорбиосовместимостьбиосовместимые покрытия …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Системная интеграция нано/микро/макро структур, наноэлектромеханические системы, манипуляторы и актуаторы, нанотехнологии в робототехнике — Статьиактуаторбиомедицинские микроэлектромеханические системыкинезинлаборатория на чипенанофотоника (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

Книги



Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»