Дисперсионный рентгеновский микроанализ

Энергодисперсионный рентгеноспектральный микроанализ — определение микроскопических количеств химических элементов в микрообъёме с помощью прибора, объединяющего электронный микроскоп, энергодисперсионный рентгеновский детектор и многоканальный анализатор спектра.