ООСЗМ

Особенность-ориентированное сканирование (ООС)^[1][2] — метод прецизионного измерения нанотопографии поверхности, а также других её свойств и характеристик на сканирующем зондовом микроскопе (СЗМ), при котором особенности (объекты) поверхности используются в качестве точек привязки зонда микроскопа. Метод ООС заключается в том, что в ходе последовательных переходов от одной особенности поверхности к расположенной по соседству другой особенности производится измерение относительного расстояния между ними, а также измерение топографии окрестностей этих особенностей, называемых сегментами поверхности. Такой подход позволяет просканировать заданную область на поверхности по частям, после чего восстановить целое изображение из полученных фрагментов. Кроме указанного допустимо использование другого названия метода — объектно-ориентированное сканирование.

См. также

• Особенность-ориентированное позиционирование

Литература

1. ↑ R. V. Lapshin, “Feature-oriented scanning methodology for probe microscopy and nanotechnology”, Nanotechnology, volume 15, issue 9, pages 1135-1151, 2004.
2. ↑ R. V. Lapshin, “Automatic drift elimination in probe microscope images based on techniques of counter-scanning and topography feature recognition”, Measurement Science and Technology, volume 18, issue 3, pages 907-927, 2007.

Ссылки

• Feature-oriented scanning, Research section at Lapshin's Personal Page on SPM & Nanotechnology