(нем. Vorvakuum, от нем. vor - впереди, перед и лат. vacuum - пустота) - вакуумный насос, предназнач. для поддержания давления в выходном сечении высоковакуумного насоса, к-рый только при этом может обеспечивать заданные параметры откачки. В качестве Ф. н. могут применяться пластинчато-роторные, золотниковые и др. вакуумные насосы, к-рые создают вакуум до 0,1 Па.
Большой энциклопедический политехнический словарь. 2004.
ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС — вакуумный насос, обеспечивающий разрежение (форвакуум), необходимое для нормальной работы насоса более высокого вакуума при их последовательной работе … Большой Энциклопедический словарь
форвакуумный насос — Вакуумный насос, предназначенный для поддержания давления в выходном сечении насоса более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки. [ГОСТ 5197 85] Тематики вакуумная техника EN backing vacuum pump DE… … Справочник технического переводчика
Форвакуумный насос — Разрез турбомолекулярного вакуумного насоса Форвакуумный насос насос для предварительного разрежения, вакуумный насос в системах для получения высоких разрежений. Предназначен для экономии энергии или обеспечения условий работы насоса более… … Википедия
форвакуумный насос — вакуумный насос, обеспечивающий разрежение (форвакуум), необходимое для нормальной работы насоса более высокого вакуума при их последовательной работе. * * * ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС ФОРВАКУУМНЫЙ НАСОС, вакуумный насос (см. ВАКУУМНЫЙ НАСОС),… … Энциклопедический словарь
форвакуумный насос — 3.3 форвакуумный насос (backing vacuum pump): Вакуумный насос, предназначенный для поддержания в выходном сечении насоса давления более высокого вакуума, при котором последний может обеспечивать заданные параметры откачки. 3.4 низковакуумный… … Словарь-справочник терминов нормативно-технической документации
форвакуумный насос — priešvakuumio siurblys statusas T sritis fizika atitikmenys: angl. backing pump; forepump; pre evacuation pump vok. Vorpumpe, f; Vorvakuumpumpe, f rus. форвакуумный насос, m pranc. pompe à prévide, f; pompe primaire à vide, f … Fizikos terminų žodynas
Форвакуумный насос — предварительного разрежения насос, Вакуумный насос, обеспечивающий Форвакуум, необходимый для нормальной работы насоса более высокого вакуума. Обычно в качестве Ф. н. используют механические насосы … Большая советская энциклопедия
Адсорбционный насос — Вакуумный насос, действие которого основано на физической адсорбции (См. Адсорбция) откачиваемого газа на поверхности адсорбента. Адсорбентом чаще всего служат цеолиты, реже силикагели и активный уголь. Для усиления адсорбции адсорбент… … Большая советская энциклопедия
Предварительного разрежения насос — то же, что Форвакуумный насос … Большая советская энциклопедия
безмасляный насос — Полностью безмасляный (без применения масла) форвакуумный (до вакуума приблизительно 10 3 торр) насос; все чаще используется в новейшем оборудовании для обработки полупроводников, поскольку в нем не используется масло; безмасляный винтовой насос … Справочник технического переводчика
