органич. материалы, чувствительные к оптич. излучению видимой и УФ области. наиб. широко используются в микроэлектронике при создании интегральных схем и др. устройств по методу планарной технологии.
Естествознание. Энциклопедический словарь.
ФОТОРЕЗИСТЫ — органические материалы, чувствительные к оптическому излучению видимой и ультрафиолетовой области. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании искусственных спутников, запоминающих устройств и др. по методу планарной технологии… … Большой Энциклопедический словарь
ФОТОРЕЗИСТЫ — материалы органич. и неорганич. происхождения, чувствительные к оптич. излучению видимого или УФ диапазона; применяются в фотолитографии для получения рельефного покрытия заданной топологии. Формирование в слое Ф., нанесённого на к. л. подложку,… … Физическая энциклопедия
фоторезисты — органические материалы, чувствительные к оптическому излучению видимой и УФ области. Наиболее широко используются в микроэлектронике при создании интегральных схем и других устройств по методу планарной технологии. * * * ФОТОРЕЗИСТЫ ФОТОРЕЗИСТЫ,… … Энциклопедический словарь
ФОТОРЕЗИСТЫ — светочувствит. материалы, применяемые в фотолитографии для формирования рельефного покрытия заданной конфигурации и защиты нижележащей пов сти от воздействия травителей. Ф. обычно представляют собой композиции из светочувствит. орг. в в,… … Химическая энциклопедия
фоторезист — Термин фоторезист Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография, травление в литографии Определение свето или рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения пленочного покрытия на… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
Фотография — (от Фото... и ...графия) совокупность методов получения стабильных во времени изображений предметов и оптических сигналов на светочувствительных слоях (СЧС) путём закрепления фотохимических или фотофизических изменений, возникающих в СЧС… … Большая советская энциклопедия
резисты — органические материалы, чувствительные к воздействию какого либо излучения: оптического (фоторезисты), рентгеновского (рентгенорезисты), потока электронов или ионов (электроно или ионорезисты). Применяют в литографии для формирования заданного… … Энциклопедический словарь
Фоторезист — (от фото и англ. resist) полимерный светочувствительный материал. Наносится на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить соответствующее фотошаблону расположение окон для доступа травящих или … Википедия
РЕЗИСТЫ — органические материалы, чувствительные к воздействию какого либо излучения: оптического (фоторезисты), рентгеновского (рентгенорезисты), потока электронов или иного (электроно или ионорезисты). Применяют в литографии для формирования заданного… … Большой Энциклопедический словарь
ФОТОХИМИЯ — отрасль химии, занимающаяся изучением взаимодействий света с веществом. Эти взаимодействия могут сопровождаться химическими превращениями вещества, иногда с испусканием света. Предметом изучения фотохимии служат и некоторые физические процессы,… … Энциклопедия Кольера
