физическое осаждение из газовой фазы это:

физическое осаждение из газовой фазы
Термин
физическое осаждение из газовой фазы
Термин на английском
physical vapour deposition
Синонимы
PVD-процесс
Аббревиатуры
PVD
Связанные термины
химическое осаждение из паров металлорганических соединений
Определение
технология нанесения покрытий (тонких плёнок) в вакууме из паровой (газовой) фазы, при которой покрытие получается путём прямой конденсации пара наносимого материала.
Описание

PVD-методы можно разделить на две группы: (1) термическое испарение и (2) ионно-плазменное распыление.

При термическом испарении напыляемый материал нагревают до достаточно высокой температуры, при которой некоторые атомы или молекулы приобретают достаточно энергии для того, чтобы разорвать химические связи и покинуть вещество. При этом жидкости испаряются, а твердые вещества сублимируют. По способам нагрева различают:

  • Термическое испарение (резистивный нагрев) (TVD-процесс).

В сверхвысоком вакууме (?1.3•10-8 Па) вещество термически нагревается до требуемой температуры испарения, при этом его атомы и молекулы попадают на подложку, где происходит их конденсация.

  • Электронно-лучевое испарение (EBVD-процесс).

На образец металла, служащий анодом, направлен поток электронов с энергией в несколько кэВ, эмитируемых катодом,
что приводит к непрервыному испарению атомов. 

Мишень облучается импульсным УФ излучением эксимерного или Nd:YAG лазера. Интенсивность излучения составляет 108-109 Вт/см2, длительность - несколько наносекунд, что достаточно для абляции вещества (металлы, оксиды металлов) в точке нагрева мишени.

  • Испарение в электрической дуге (arc-PVD -процесс) 

Между катодом и анодом инициируется вакуумная дуга, которая испаряет материал катода. Процесс идёт в среде инертного газа при низких давлениях 0,133- 13,3 Па и при более низкой, чем в методах термического испарения, температуре эпитаксии.

При ионно-плазменном распылении поверхность мишени бомбардируют атомами, ионами или молекулами, имеющими энергию, превышающую энергию связи атомов мишени. Для бомбардировки, как правило, используют ионы благородных газов, так как их легко разгонять до нужной энергии в электрическом поле и они химически инертны.

Авторы
  • Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. Введение в физику поверхности: Пер. с англ. / Оура Кендзиро, Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. - М. Наука, 2006. - 490 с.
Иллюстрации
Теги
Разделы
Эпитаксиальные слои
Поликристаллические слои
Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги)
Спинтроника и устройства на ее основе
Наноэлектроника, компонентная база и устройства
Технология

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "физическое осаждение из газовой фазы" в других словарях:

  • химическое осаждение из газовой фазы — Термин химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском chemical vapour deposition Синонимы химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition Аббревиатуры CVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Химическое, термическое и электродуговое ocаждение из газовой фазы (в том числе CVD, EVD, MoCVD, PVD и аналоги) — ПодразделыПоликристаллические слоиЭпитаксиальные слоиСтатьиадгезияволокна, борныеволокна, карбидкремниевыегетероэпитаксиязародышеобразованиекриоконденсациямеханизм роста Странского Крастановамеханизм роста Франка – Ван дер Мервемеханизмы роста… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • химическое осаждение из паров металлорганических соединений — Термин химическое осаждение из паров металлорганических соединений Термин на английском metalorganic chemical vapour deposition Синонимы Аббревиатуры MOCVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, эпитаксия газофазная Определение… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • тонкие пленки — Термин тонкие пленки Термин на английском thin films Синонимы Аббревиатуры Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, квантовая яма, осаждение атомных слоев, плазменно химическое осаждение из газовой фазы, поверхность, подложка,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • нанотехнология типа “снизу вверх” — Термин нанотехнология типа “снизу вверх” Термин на английском “bottom up” nanotechnology Синонимы Аббревиатуры Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, нанотехнология, Фейнман, Ричард Определение Технология получения… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Наноэлектроника, компонентная база и устройства — Статьи"умные" материалыбиполярный транзисторгетероэпитаксиягибридные материалыгомоэпитаксиядонорквантовая проволокамикроморфологиянаноионикананометрнанопроволокананореактор, 2D …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Поликристаллические слои — Статьиградиентные материалыфизическое осаждение из газовой фазы (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Спинтроника и устройства на ее основе — Статьигибридные материалыгигантское магнетосопротивлениенанометрспинтроникатуннелированиетуннельное магнетосопротивлениефизическое осаждение из газовой фазы (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Технология — ПодразделыНаноэлектроника, компонентная база и устройстваМолекулярная электроника и устройства на ее основеСпинтроника и устройства на ее основеНанотехнологии в фотонике и оптоэлектронике, компонентная база и устройстваМетоды обработки и… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Эпитаксиальные слои — Статьигетероэпитаксиягомоэпитаксиятуннельное магнетосопротивлениефизическое осаждение из газовой фазыэпитаксия газофазнаяэпитаксия жидкофазная (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …   Энциклопедический словарь нанотехнологий


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»