литография электронно-лучевая
- литография электронно-лучевая
-
- Термин
-
- литография электронно-лучевая
- Термин на английском
-
- electron beam lithography
- Синонимы
-
- Аббревиатуры
-
- Связанные термины
-
- литография
- Определение
-
нанотехнология электронных микросхем, использующая литографический процесс с экспонированием (облучением) резиста с помощью электронного пучка
- Описание
-
Имеются две системы электронно-лучевой литографии – сканирующая и проекционная.
В сканирующей электронно-лучевой литографии резист экспонируется (сканируется) последовательно перемещаемым в плоскости рисунка фокусированным пучком электронов. Управление электронным лучом производится по определенной программе с помощью компьютера, поэтому не нужно применять какие-либо шаблоны или маски, но последовательное сканирование всего рисунка увеличивает время экспонирования.
В проекционной электронно-лучевой литографии широкий нефокусированный поток электронов используется для получения всего рисунка в течение одной экспозиции. В такой системе фотокатод расположен на поверхности оптической маски с заданным рисунком. Ультрафиолетовые лучи облучают фотокатодный слой через маску, что вызывает эмиссию электронов с фотокатода в облученных местах рисунка. Эти электроны проецируются на поверхность резиста с помощью однородных электростатических и магнитных полей. В результате на всей площади подложки рисунок создается за одну экспозицию.
- Авторы
-
- Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
- Ссылки
-
- А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
- Иллюстрации
-
|
проекционная система электронно-лучевой литографии
|
|
сканирующая система электронно-лучевой литографии
|
- Теги
-
- Разделы
-
- Управляемые методы формирования наноструктур
Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)
Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано.
2010.
Полезное
Смотреть что такое "литография электронно-лучевая" в других словарях:
электронно-лучевая литография — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая литография — Electron Beam Lithography (EBL) Электронно лучевая литография Метод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования… … Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.
электронно-лучевая проекционная литография — elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron projection lithography; electron beam projection lithography vok. Elektronenbildprojektion, f; Elektronenstrahlprojektionsverfahren, n rus.… … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая проекционная литография с уменьшением — mažinamoji elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. demagnifying electron beam projection lithography vok. Projektion durch Elektronenbestrahlung mit Abbildungsverkleinerung, f rus. электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая литография с растровым сканированием — elektronpluoštė rastrinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography vok. Rasterscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с растровым сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
электронно-лучевая литография с векторным сканированием — vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan electron beam lithography vok. Vektorscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с векторным сканированием, f pranc … Radioelektronikos terminų žodynas
непосредственная электронно-лучевая литография — tiesioginė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. direct write electron beam lithography vok. Elektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung, f rus. непосредственная электронно лучевая… … Radioelektronikos terminų žodynas
сканирующая электронно-лучевая литография — skleistinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. scanning electron beam lithography; write electron beam lithography vok. Elektronenstrahlschreibenlithografie, f; Rasterelektronenstrahlithografie, f rus … Radioelektronikos terminų žodynas
литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… … Энциклопедический словарь нанотехнологий
электронная литография — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… … Radioelektronikos terminų žodynas
