литография электронно-лучевая это:

литография электронно-лучевая
Термин
литография электронно-лучевая
Термин на английском
electron beam lithography
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
литография
Определение

нанотехнология электронных микросхем, использующая литографический процесс с экспонированием (облучением) резиста с помощью электронного пучка

Описание

Имеются две системы электронно-лучевой литографии – сканирующая и проекционная.

В сканирующей электронно-лучевой литографии резист экспонируется (сканируется) последовательно перемещаемым в плоскости рисунка фокусированным пучком электронов. Управление электронным лучом производится по определенной программе с помощью компьютера, поэтому не нужно применять какие-либо шаблоны или маски, но последовательное сканирование всего рисунка увеличивает время экспонирования.

В проекционной электронно-лучевой литографии широкий нефокусированный поток электронов используется для получения всего рисунка в течение одной экспозиции. В такой системе фотокатод расположен на поверхности оптической маски с заданным рисунком. Ультрафиолетовые лучи облучают фотокатодный слой через маску, что вызывает эмиссию электронов с фотокатода в облученных местах рисунка. Эти электроны проецируются на поверхность резиста с помощью однородных электростатических и магнитных полей. В результате на всей площади подложки рисунок создается за одну экспозицию.

Авторы
  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
Иллюстрации
проекционная система электронно-лучевой литографии

проекционная система электронно-лучевой литографии


сканирующая система электронно-лучевой литографии

сканирующая система электронно-лучевой литографии


Теги
Разделы
Управляемые методы формирования наноструктур
Методы обработки и формирования структур с прецизионным позиционированием (нанолитография, нанообработка, нанопечать, наноструйная техника и другое)

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "литография электронно-лучевая" в других словарях:

  • электронно-лучевая литография — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • электронно-лучевая литография —  Electron Beam Lithography  (EBL)  Электронно лучевая литография   Метод изготовления субмикронных и наноразмерных деталей путем облучения электрочувствительных поверхностей электронным лучом. Существуют две основные возможности использования… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • электронно-лучевая проекционная литография — elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron projection lithography; electron beam projection lithography vok. Elektronenbildprojektion, f; Elektronenstrahlprojektionsverfahren, n rus.… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • электронно-лучевая проекционная литография с уменьшением — mažinamoji elektronpluoštė projekcinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. demagnifying electron beam projection lithography vok. Projektion durch Elektronenbestrahlung mit Abbildungsverkleinerung, f rus. электронно… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • электронно-лучевая литография с растровым сканированием — elektronpluoštė rastrinė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. raster scan electron beam lithography vok. Rasterscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с растровым сканированием, f pranc …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • электронно-лучевая литография с векторным сканированием — vektorinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. vector scan electron beam lithography vok. Vektorscan Elektronenstrahllithografie, f rus. электронно лучевая литография с векторным сканированием, f pranc …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • непосредственная электронно-лучевая литография — tiesioginė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. direct write electron beam lithography vok. Elektronenstrahllithografie für direkte Waferbelichtung, f rus. непосредственная электронно лучевая… …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • сканирующая электронно-лучевая литография — skleistinė elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. scanning electron beam lithography; write electron beam lithography vok. Elektronenstrahlschreibenlithografie, f; Rasterelektronenstrahlithografie, f rus …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • электронная литография — elektronpluoštė litografija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. electron beam lithography; electron beam printing vok. Elektronenstrahllithografie, f; Elektronenstrahlschreiben, n rus. электронная литография, f; электронно… …   Radioelektronikos terminų žodynas

Книги

  • Наноэлектроника, Борисенко В. Е..  Подробно рассмотрены фундаментальные физические эффекты и электронные процессы, характерные для наноразмерных структур. Описаны принципы функционирования и типы наноэлектронных… Подробнее  Купить за 290 руб


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»