литография оптическая это:

литография оптическая
Термин
литография оптическая
Термин на английском
optical lithography
Синонимы
фотолитография, photolitigraphy
Аббревиатуры
Связанные термины
биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, литография, фоторезист
Определение

технология микроэлектроники; вариант литографии, включающий перенос изображения элементов электронной схемы с маски (шаблона) на полупроводниковую подложку с пленочным покрытием из фоторезиста (материала, чувствительного к облучению светом) с последующим травлением покрытия и легированием подложки через окна в слое фоторезиста

Описание

Обычный материал подложки - кремниевые пластины с окисленной поверхностью. Тонкая поверхностная пленка SiO2 защищает кремний от дальнейшего окисления, служит непроницаемым барьером для большинства примесей и является хорошим диэлектриком. Достоинством системы Si-SiO2 является возможность селективного травления при использовании травителей, действующих только на один из этих двух материалов.

Фотолитографический процесс включает химическую очистку поверхности подложки от следов различных (органических, ионных, металлических) примесей, окисление очищенной поверхности подложки с созданием защитного слоя SiO2, нанесение на окисленную поверхность тонкой пленки фоточувствительного материала (фоторезиста), экспонирование (облучение) фоторезиста через маску и удаление (травление) негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков. Наиболее часто используют позитивные фоторезисты, позволяющие точнее передавать очень мелкие геометрические детали изображения. В оптической литографии все детали схемы экспонируются одновременно. Пластина кремния с нанесенным рисунком помещается в среду, из которой в кремний через окна в слое фоторезиста вводятся атомы легирующей примеси. Повторение операций окисления, фотолитографии и легирования позволяет селективно вводить атомы легирующих примесей p- и n-типа в очень малые по размеру области на поверхности кристалла. Наименьшие размеры элементов, которые можно получить с помощью классической оптической фотолитографии, принципиально ограничены длиной волны света. Фотолитография с помощью света с длиной волны ~400 нм позволяет серийно изготовлять интегральные схемы с минимальным размером 2-3 мкм, содержащие до 105 транзисторов.

Авторы
  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. А. И. Гусев. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007. 416 с.
Иллюстрации
Основные этапы литографического процесса с использованием позитивного (слева) и негативного (спра

Основные этапы литографического процесса с использованием позитивного (слева) и негативного (справа) фоторезистов:

(а) окисление и образование поверхностного слоя SiO2; (б) нанесение слоя резиста;

(в) экспонирование;

(г) удаление экспонированного позитивного и неэкспонированного негативного резистов;

(д) протравливание слоя SiO2;

(е) полное удаление резиста; (ж) легирование кремниевой подложки.

 (1) подложка из кремния; (2) поверхностный слой SiO2; (3) слой фоторезиста; (4) фотошаблон (маска); (5) область легирования.


Теги
Разделы
Оптическая литография
Управляемые методы формирования наноструктур
Технология

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "литография оптическая" в других словарях:

  • литография рентгеновская — Термин литография рентгеновская Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография Определение технология электронных микросхем; вариант литографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Литография — Фотография литографского камня и литографии  карты …   Википедия

  • оптическая литография —  Optical Lithography  Оптическая литография   Технология, использующая линзы и свет для точного проецирования и экспонирования изображения маски на покрытую фоторезистом полупроводниковую пластину …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • Оптическая литография — Статьилаборатория на чипелитографиямикроморфологияфоторезист (Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО») …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Рентгеновская литография — Рентгеновская литография  технология изготовления электронных микросхем; вариант фотолитографии, использующий экспонирование (облучение) резиста с помощью рентгеновских лучей. Описание Рентгеновская литография использует мягкое рентгеновское …   Википедия

  • лаборатория на чипе — Термин лаборатория на чипе Термин на английском lab on a chip Синонимы микросистемы полного анализа, micro total analysis systems Аббревиатуры LOC, µTAS Связанные термины актуатор, биологические моторы, биомедицинские микроэлектромеханические… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • микроморфология — Термин микроморфология Термин на английском micromorphology Синонимы Аббревиатуры Связанные термины агрегат, зерно, кристаллит, макропоры, межзеренная граница, мезопоры, микропоры, морфология, морфология наноструктур, агломерат Определение… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Виды лазеров — Далее приводится таблица параметров наиболее распространённых лазеров различных типов, рабочие длины волн, области применения. Содержание 1 Газовые лазеры 2 Лазеры на красителях …   Википедия

  • Управляемые методы формирования наноструктур — ПодразделыОптическая литографияЭлектронная литографияРентгеновская литографияНаноимпринтинг и травлениеФокусированная ионная резкаПланиризация поверхности, полировкаПоверхностная иммобилизация (химическая пришивка) молекулЛокальные поверхностные… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»