травление в литографии

травление в литографии
Термин
травление в литографии
Термин на английском
Синонимы
Аббревиатуры
Связанные термины
биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист
Определение
этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков подложки, покрытой тонкой пленкой фоторезиста.
Описание

Жидкостное травление фоторезиста обладает высокой селективностью, но является изотропным и происходит не только в направлении, перпендикулярном поверхности подложки, но и горизонтально под слой резиста. Вследствие этого детали вытравленного рисунка по размеру оказываются больше, чем соответствующие детали маски.

Сухое (ионное или плазменное) травление является существенно анизотропным. Наиболее часто используется реактивное ионное травление, при котором подложка, покрытая маской, подвергается воздействию плазмы, возбужденной высокочастотным электрическим полем. Радикалы и нейтральные частицы плазмы участвуют в химических реакциях на поверхности, образуя летучие продукты, а положительные ионы плазмы бомбардируют поверхность и выбивают атомы с незащищенных участков подложки. Для каждого материала, подвергаемого сухому травлению, подбирается соответствующий реактивный газ. Так, например, органические резисты травят в кислородсодержащей плазме (CF4 + O2), алюминий - в хлорсодержащей плазме (CCl4, BCl3, BCl3 + Cl2, BCl3 + CCl4 + O2), кремний и его соединения травят хлор- и фторсодержащей плазмой (CCl4 + Cl2 + Ar, ClF3 + Cl2, CHF3, CF4 + H2, C2F6). Недостаток сухого травления – меньшая, по сравнению с жидкостным травлением, селективность.

Вариантом сухого анизотропного травления является ионно-лучевое травление. В отличие от реактивного ионного травления, сочетающего физический и химический механизмы, ионно-лучевое травление определяется только физическим процессом передачи импульса. Ионно-лучевое травление является универсальным, пригодно для любого материала или сочетания материалов и обладает наивысшей среди всех методов травления разрешающей способностью, позволяя получать элементы с размером менее 10 нм.

Авторы
  • Гусев Александр Иванович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. Гусев А. И. Наноматериалы, наноструктуры, нанотехнологии. Изд. 2-е, исправленное и до-полненное. Москва: Наука-Физматлит, 2007 - 416 с.
Иллюстрации
Теги
Разделы
Технология

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Игры ⚽ Нужен реферат?

Полезное


Смотреть что такое "травление в литографии" в других словарях:

  • Травление в литографии — (англ. etching (development) in lithography)  этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков подложки, покрытой тонкой… …   Википедия

  • Травление — Не следует путать с Травля (значения). Фольгированный текстолит …   Википедия

  • биомедицинские микроэлектромеханические системы — Термин биомедицинские микроэлектромеханические системы Термин на английском biomedical microelectromechanical systems Синонимы Аббревиатуры биоМЭМС, bioMEMS Связанные термины актуатор, антитело, биоинженерия, биосенсор, ДНК зонд, лаборатория на… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • лаборатория на чипе — Термин лаборатория на чипе Термин на английском lab on a chip Синонимы микросистемы полного анализа, micro total analysis systems Аббревиатуры LOC, µTAS Связанные термины актуатор, биологические моторы, биомедицинские микроэлектромеханические… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • фоторезист — Термин фоторезист Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография, травление в литографии Определение свето или рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения пленочного покрытия на… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Технология — ПодразделыНаноэлектроника, компонентная база и устройстваМолекулярная электроника и устройства на ее основеСпинтроника и устройства на ее основеНанотехнологии в фотонике и оптоэлектронике, компонентная база и устройстваМетоды обработки и… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • литография — Термин литография Термин на английском lithography Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, квантовая проволока, лаборатория на чипе, сканирующая туннельная микроскопия, фоторезист Определение технология переноса… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Фотомеханические способы печатания — Как бы ни получались фотографические снимки, угольным ли способом или на серебряных солях, они все представляют значительные неудобства, требуя кропотливых и сложных манипуляций, и всегда стоят дорого. С другой стороны, снимки, полученные с… …   Энциклопедический словарь Ф.А. Брокгауза и И.А. Ефрона

  • Светопечатание* — под названием С. подразумеваются все способы размножения рисунков (какого бы вида и происхождения эти рисунки не были) с помощью выпуклых, углубленных или плоских печатных досок (клише), воспроизведенных с рисунков или с натуры при посредстве… …   Энциклопедический словарь Ф.А. Брокгауза и И.А. Ефрона

  • Светопечатание — под названием С. подразумеваются все способы размножения рисунков (какого бы вида и происхождения эти рисунки не были) с помощью выпуклых, углубленных или плоских печатных досок (клише), воспроизведенных с рисунков или с натуры при посредстве… …   Энциклопедический словарь Ф.А. Брокгауза и И.А. Ефрона


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»