сканирующая электронная микроскопия это:

сканирующая электронная микроскопия
Термин
сканирующая электронная микроскопия
Термин на английском
scanning electron microscopy
Синонимы
растровая электронная микроскопия
Аббревиатуры
СЭМ, SEM, РЭМ
Связанные термины
микроскоп, микроскопия, электронный микроскоп
Определение

Разновидность электронной микроскопии, в которой для зондирования исследуемой поверхности используется сканирование по ней сфокусированного пучка электронов. Для формирования изображения используется детектирование различных сигналов, включая вторичные электроны, обратно рассеянные электроны, рентгеновское излучение и ток через образец. Двумерная карта снимаемого сигнала и представляет собой изображение поверхности.

Описание

В сканирующем электронном микроскопе (рис. 1а) пучок электронов с первичной энергией ~1-10 кэВ фокусируется системой линз в пятно диаметром 1-10 нм на поверхности исследуемого образца. Сфокусированный пучок сканируется по поверхности с помощью системы отклоняющих катушек синхронно с электронным пучком в видеотрубке, которая используется в качестве оптического дисплея. Оба электронных пучка управляются одним и тем же генератором сканирования, поэтому увеличение просто равно отношению размеров дисплея и сканируемой области на поверхности образца. В сканирующем электронном микроскопе используется детектирование различных сигналов, включая вторичные электроны, обратно рассеянные электроны, рентгеновское излучение и ток через образец (рис. 1б). На рис. 1в проиллюстрирована структура энергетического спектра электронов, испускаемых с поверхности при ее облучении пучком электронов с энергией E0. На спектре указаны диапазоны энергий, соответствующие различным типам электронов, используемым для детектирования. Основные применения сканирующей электронной микроскопии – визуализация топографии поверхности (при регистрации вторичных электронов) и карты распределения элементов на поверхности (при регистрации обратно рассеянных электронов, оже-электронов и рентгеновского излучения).   

Авторы
  • Зотов Андрей Вадимович, д.ф.-м.н.
  • Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.
Ссылки
  1. Введение в физику поверхности: Пер. с англ. / Оура Кендзиро, Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. - М. Наука, 2006. - 490 с.
Иллюстрации
Рис.1. а - Схематическая диаграмма, иллюстрирующая принцип работы сканирующего электронного микроско

Рис.1. а - Схематическая диаграмма, иллюстрирующая принцип работы сканирующего электронного микроскопа. б - Типы сигналов, генерируемых при облучении поверхности пучком первичных электронов. в - Энергетический спектр электронов, испускаемый образцом, облучаемым электронами с энергией Ep. На спектре отмечены диапазоны энергий, соответствующие вторичным электронам (ВЭ), обратно рассеянным электронам (ОРЭ) и оже-электронам (ОЭ).


Источник: Введение в физику поверхности: Пер. с англ. / Оура Кендзиро, Лифшиц В.Г., Саранин А.А., Зотов А.В., Катаяма М. - М. Наука, 2006. - 490 с.

Теги
Разделы
Сканирующая электронная микроскопия
Методы диагностики и исследования наноструктур и наноматериалов

Энциклопедический словарь нанотехнологий. — Роснано. 2010.

Смотреть что такое "сканирующая электронная микроскопия" в других словарях:

  • сканирующая электронная микроскопия — (для анализа керна) [http://slovarionline.ru/anglo russkiy slovar neftegazovoy promyishlennosti/] Тематики нефтегазовая промышленность EN scanning electron microscopy …   Справочник технического переводчика

  • Сканирующая электронная микроскопия — Статьибиологические моторыбиомиметические наноматериалыбиосовместимые покрытиябислойвекторы на основе наноматериаловгенная инженерияДНКдоставка геновкапсидлипосомамежзеренная границамикроморфология …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • сканирующая электронная микроскопия — scanning electron microscopy, SEM сканирующая электронная (растровая) микроскопия. Mетод анализа поверхностной структуры микрообъекта путем анализа отраженного “электронного изображения” (как правило, при специальном напылении и с применением… …   Молекулярная биология и генетика. Толковый словарь.

  • контролируемая компьютером сканирующая электронная микроскопия — (напр. для анализа угольной золы) [А.С.Гольдберг. Англо русский энергетический словарь. 2006 г.] Тематики энергетика в целом EN computer controlled scanning electronic microscopyCCSEM …   Справочник технического переводчика

  • электронная микроскопия — Термин электронная микроскопия Термин на английском electron microscopy Синонимы Аббревиатуры EM Связанные термины микроскоп, микроскопия, микроскопия медленных электронов, порометрия, протеомика, электронно колебательная спектроскопия,… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • сканирующая электронная (растровая) микроскопия — Метод анализа поверхностной структуры микрообъекта путем анализа отраженного «электронного изображения» (как правило, при специальном напылении и с применением метода замораживания высушивания, что позволяет повышать электронную плотность объекта …   Справочник технического переводчика

  • Электронная микроскопия —         совокупность методов исследования с помощью электронных микроскопов (См. Электронный микроскоп) (МЭ) микроструктуры тел (вплоть до атомно молекулярного уровня), их локального состава и локализованных на поверхностях или в микрообъёмах тел …   Большая советская энциклопедия

  • микроскопия — Термин микроскопия Термин на английском microscopy Синонимы Аббревиатуры Связанные термины атомно силовая микроскопия, полевая ионная микроскопия, клетка, конфокальная микроскопия, микроскоп, оптический пинцет, отражательная электронная… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Микроскопия — В Википедии …   Википедия

  • растровая микроскопия — растровая микроскопия. См. сканирующая электронная микроскопия. (Источник: «Англо русский толковый словарь генетических терминов». Арефьев В.А., Лисовенко Л.А., Москва: Изд во ВНИРО, 1995 г.) …   Молекулярная биология и генетика. Толковый словарь.

Книги

Другие книги по запросу «сканирующая электронная микроскопия» >>


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»