просвечивающий электронный микроскоп

Термин

просвечивающий электронный микроскоп

Термин на английском

transmission electron microscope

Синонимы

Аббревиатуры

ПЭМ, TEM

Связанные термины

микроскопия, электронный микроскоп, микроскопия зондовая

Определение

разновидность электронного микроскопа - высоковакуумный высоковольтный прибор, в котором изображение от ультратонкого объекта (толщиной порядка 500 нм и менее) формируется в результате взаимодействия пучка электронов с веществом образца при прохождении через него насквозь.

Описание

Принцип действия просвечивающего электронного микроскопа практически аналогичен принципу действия оптического микроскопа,
только в первом используются магнитные линзы вместо стеклянных и электроны вместо фотонов. Пучок электронов, испускаемый электронной пушкой, фокусируется с помощью конденсорной линзы в маленькое пятно ~2-3 мкм на образце и после прохождения через образец фокусируется с помощью объективной линзы для получения проекции увеличенного изображения на
специальном экране или детекторе. Очень важным элементом микроскопа является апертурная диафрагма, расположенная в задней фокальной плоскости объективной линзы. Она определяет контраст изображения и разрешающую способность микроскопа. Формирование контраста изображений в ПЭМ можно объяснить следующим образом. При прохождении через образец пучок электронов теряет часть своей интенсивности на рассеяние. Эта часть больше для более толстых участков или для участков с более тяжелыми атомами. Если апертурная диафрагма эффективно отсекает рассеянные электроны, то толстые участки и участки с тяжелыми атомами будут выглядеть как более темные. Меньшая апертура увеличивает контраст, но  приводит к потере разрешения. В кристаллах упругое рассеяние электронов приводит к появлению дифракционного контраста.

Авторы

• Вересов Александр Генрихович, к.х.н.
• Саранин Александр Александрович, д.ф.-м.н.

Ссылки

1. British standart BSI - PAS133:2007 Terminology for nanoscale measurement and instrumentation
2. Transmission Electron Microscopy (TEM) / © 2000 MATTER URL: http://www.matter.org.uk/tem/
3. HREM / Wikipedia URL: http://en.wikipedia.org/wiki/HREM
4. Transmission Electron Microscopy (TEM) / © University of Cambridge URL: http://www.msm.cam.ac.uk/doitpoms/tlplib/tem/index.php
5. Handbook of microscopy for nanotechnology/ edited by Nan Yao, Zhong Lin Wang.- Boston: Kluwer Academic Publishers, 2005.- 731 p.

Иллюстрации

Микрофотография сечения нанопроволоки CoSi2, выросшей на поверхности кремния Источник: Handbook of microscopy for nanotechnology / edited by Nan Yao. Zhong Lin Wang. 2005 Kluwer Academic Publishers

Теги

Разделы

Просвечивающая электронная микроскопия, в том числе высокого разрешения
Методы диагностики и исследования наноструктур и наноматериалов
Приборостроение для наноиндустрии
Метрология, стандартизация и сертификация продукции наноиндустрии (включая методики анализа и испытаний)

(Источник: «Словарь основных нанотехнологических терминов РОСНАНО»)