химическое осаждение из газовой фазы это:

химическое осаждение из газовой фазы
хими́ческое осажде́ние из га́зовой фа́зы
получение твёрдых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических плёнок (например, в планарной технологии), нитевидных монокристаллов («усов»), барьерных слоёв (предотвращающих разрушение покрытий на соплах ракет), при изготовлении различных изделий сложной конфигурации и др.
* * *
ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ
ХИМИ́ЧЕСКОЕ ОСАЖДЕ́НИЕ ИЗ ГА́ЗОВОЙ ФА́ЗЫ, получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических пленок (напр., в планарной технологии), нитевидных монокристаллов («усов»), барьерных слоев (предотвращающих разрушение покрытий на соплах ракет), при изготовлении различных изделий сложной конфигурации и др.

Энциклопедический словарь. 2009.

Смотреть что такое "химическое осаждение из газовой фазы" в других словарях:

  • ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллических пленок (напр., в планарной технологии),… …   Большой Энциклопедический словарь

  • химическое осаждение из газовой фазы — Термин химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском chemical vapour deposition Синонимы химическое осаждение из пара; chemical vapor deposition Аббревиатуры CVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, волокна, борные …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твердых в в р циями с участием газообразных соединений. По механизму р ций подразделяется на 4 вида: 1) термич. разложение или диспропорционирование газообразных соед., напр. SiH4 Si, ZrI4 Zr, Ni(CO)4 Ni, A1F Al, MRn M, где M металл, R… …   Химическая энциклопедия

  • ХИМИЧЕСКОЕ ОСАЖДЕНИЕ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ — получение твёрдых в в с помощью хим. реакций, в к рых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий, монокристаллов, эпитаксиальных и монокристаллич. плёнок (напр., в планарной технологии), нитевидных… …   Естествознание. Энциклопедический словарь

  • плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — Термин плазменно химическое осаждение из газовой фазы Термин на английском plasma enhanced chemical vapor deposition Синонимы плазмохимическое газофазное осаждение, осаждение из паровой фазы, стимулированное плазмой Аббревиатуры PECVD, ПХО, ПХГФО …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы — сокр., ПХО; ПХГФО иначе плазмохимическое газофазное осаждение; осаждение из паровой фазы стимулированное плазмой (англ. plasma enhanced chemical vapor deposition)  процесс химического осаждения тонких пленок из паровой фазы при низком… …   Википедия

  • химическое осаждение из паровой фазы — Процесс в газовой среде, при котором осаждаются изолирующие или металлические пленки на подложку при повышенной температуре. Для ускорения химической реакции часто используется пониженное давление. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]… …   Справочник технического переводчика

  • осаждение из газовой фазы —  Vapor Deposition  Осаждение из газовой фазы   Химическое осаждение из газовой фазы получение твердых веществ с помощью химических реакций, в которых участвуют газообразные реагенты. Используют для получения текстурированных покрытий,… …   Толковый англо-русский словарь по нанотехнологии. - М.

  • физическое осаждение из газовой фазы — Термин физическое осаждение из газовой фазы Термин на английском physical vapour deposition Синонимы PVD процесс Аббревиатуры PVD Связанные термины химическое осаждение из паров металлорганических соединений Определение технология нанесения… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • химическое осаждение из паров металлорганических соединений — Термин химическое осаждение из паров металлорганических соединений Термин на английском metalorganic chemical vapour deposition Синонимы Аббревиатуры MOCVD Связанные термины физическое осаждение из газовой фазы, эпитаксия газофазная Определение… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

Книги

Другие книги по запросу «химическое осаждение из газовой фазы» >>


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»