- микродефектность
- microflaw, microimperfection
Большой англо-русский и русско-английский словарь. 2001.
микродефектность
Смотреть что такое "микродефектность" в других словарях:
ФОТОРЕЗИСТЫ — материалы органич. и неорганич. происхождения, чувствительные к оптич. излучению видимого или УФ диапазона; применяются в фотолитографии для получения рельефного покрытия заданной топологии. Формирование в слое Ф., нанесённого на к. л. подложку,… … Физическая энциклопедия
