зонная плавка

зонная плавка
зо́нная пла́вка
(зонная кристаллизация), процесс глубокой очистки вещества в технологии полупроводниковых материалов. Зонная плавка осуществляется расплавлением небольшого участка (зоны) или нескольких участков твёрдого слитка и последовательным их перемещением вдоль слитка.
Принципиальная схема зонной плавки показана на рисунке. Слиток металла 2 помещают в контейнер-лодочку 1, который устанавливается в кварцевой трубе 3. Вслед за движущейся расплавленной зоной 5 происходит кристаллизация металла 6. В ряде случаев очищаемый материал помещается в вертикально расположенный цилиндрический контейнер. Нагрев для создания расплавленной зоны осуществляется нагревателями сопротивления 4, токами высокой частоты, электродуговым и электронно-лучевым способами. Для исключения возможного загрязнения материала слитка из окружающей среды зонную плавку проводят в вакууме или атмосфере инертного газа. Очистка материала происходит вследствие различного распределения примесей между твёрдой и жидкой фазами. Для достижения глубокой очистки требуется, как правило, большое число (не менее 10) проходов расплавленной зоны. Остаточное содержание примесей в очищенном таким способом материале составляет не более 10-4 % масс (1 атом примеси на 1 000 000 атомов основного вещества).
Схема горизонтальной зонной плавки
Схема горизонтальной зонной плавки

Зонная плавка высокореакционных материалов осуществляется бестигельным методом: слиток располагают вертикально и закрепляют сверху и снизу. Расплавленный участок такого слитка удерживается между твёрдыми участками силами поверхностного натяжения и может перемещаться вдоль слитка вверх и вниз (метод бестигельной зонной плавки). Вращение твёрдых частей кристалла относительно друг друга вокруг вертикальной оси обеспечивает перемешивание расплава в жидкой зоне и возможность получения кристаллов цилиндрической формы. Горизонтальная зонная плавка применяется для производства особо чистых кристаллов кремния, индия, галлия, других металлов и соединений, используемых в производстве полупроводниковых приборов.

Энциклопедия «Техника». — М.: Росмэн. 2006.


.

Игры ⚽ Поможем сделать НИР

Полезное


Смотреть что такое "зонная плавка" в других словарях:

  • Зонная плавка —         зонная перекристаллизация, кристаллофизический метод рафинирования материалов, который состоит в перемещении узкой расплавленной зоны вдоль длинного твёрдого стержня из рафинируемого материала. З. п. можно подвергать почти все технически… …   Большая советская энциклопедия

  • ЗОННАЯ ПЛАВКА — (зонная перекристаллизация) кристаллофиз. метод очистки (рафинирования), заключающийся в перемещении узкой расплавленной зоны вдоль длинного твердого стержня очищаемого материала. Многократное прохождение зоны в обоих направлениях вызывает (см.)… …   Большая политехническая энциклопедия

  • ЗОННАЯ ПЛАВКА — кристаллофизический метод рафинирования материалов; состоит в создании и перемещении узкой расплавленной зоны вдоль длинного стержня из рафинируемого материала. Применяется для получения чистых металлов и полупроводников (содержание примесей 10 7 …   Большой Энциклопедический словарь

  • ЗОННАЯ ПЛАВКА — ЗОННАЯ ПЛАВКА, метод очистки кристаллов, особенно тех, что применяются в ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ приборах. Материал помещается в длинную трубку и проводится через печь, в которой чередуются горячие и холодные зоны. По мере прохождения стержня через… …   Научно-технический энциклопедический словарь

  • ЗОННАЯ ПЛАВКА — см. Плавление зонное. Геологический словарь: в 2 х томах. М.: Недра. Под редакцией К. Н. Паффенгольца и др.. 1978 …   Геологическая энциклопедия

  • зонная плавка — Высоко локализованное плавление обычно индукционным нагреванием маленького объема металлического прутка. Перемещая виток индуктора по стержню, расплавленная зона проходит с одного конца на другой. В бинарных составах, где имеется большое различие …   Справочник технического переводчика

  • ЗОННАЯ ПЛАВКА — метод очистки полупроводниковых материалов, таких, как германий и кремний, для применений в микроэлектронике, а других (металлов, химических соединений) в основном для научных исследований. При использовании этого метода по длинному слитку… …   Энциклопедия Кольера

  • Зонная плавка — Монокристалл тантала высокой чистоты (99.999% = 5N), выращенный методом зонной перекристаллизации ( …   Википедия

  • ЗОННАЯ ПЛАВКА — кристаллофизический метод рафинирования материалов, состоящий в перемещении узкой расплавленной зоны вдоль длинного твердого стержня из рафинируемого металла. Зонная плавка широко применяют для получения чистых материалов с содержанием примесей… …   Металлургический словарь

  • зонная плавка — кристаллофизический метод рафинирования материалов; состоит в создании и перемещении узкой расплавленной зоны вдоль длинного стержня из рафинируемого материала. Применяется для получения чистых металлов и полупроводников (содержание примесей 10… …   Энциклопедический словарь


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»