Фоторезист это:

Фоторезист
(от Фото... и англ. resist – сопротивляться, препятствовать)
        полимерный светочувствительный слой, нанесённый на поверхность полупроводниковой пластины с окисной плёнкой. Ф. используются в полупроводниковой электронике (См. Полупроводниковая электроника) и микроэлектронике (См. Микроэлектроника) (см., например, Планарная технология) для получения на пластине «окон» заданной конфигурации, открывающих доступ к ней травителя. В результате экспонирования Ф. через наложенный на него стеклянный шаблон нужного рисунка ультрафиолетовым излучением (иногда электронным лучом) свойства его меняются: либо растворимость Ф. резко уменьшается (негативный Ф.), либо он разрушается и становится легко удалимым (позитивный Ф.). Последующая обработка растворителем образует в Ф. «окна» на необлучённых участках негативного Ф. или облученных участках позитивного Ф. Типичные Ф.: негативные – слои поливинилового спирта с солями хромовых кислот (См. Хромовые кислоты) или эфирами коричной кислоты (См. Коричная кислота), слои циклизованного каучука с добавками, вызывающими «сшивание» макромолекул под действием света; позитивные – феноло- или крезолоформальдегидная смола с о-нафтохинондиазидом. См. также Фотолитография.
        
         Лит.: Фотолитография и оптика, М. – Берлин, 1974; Мазель Е. З., Пресс Ф. П., Планарная технология кремниевых приборов, М., 1974.

Большая советская энциклопедия. — М.: Советская энциклопедия. 1969—1978.

Синонимы:

Смотреть что такое "Фоторезист" в других словарях:

  • фоторезист — фоторезист …   Орфографический словарь-справочник

  • Фоторезист — (от фото и англ. resist)  полимерный светочувствительный материал. Наносится на обрабатываемый материал в процессе фотолитографии или фотогравировки с целью получить соответствующее фотошаблону расположение окон для доступа травящих или …   Википедия

  • фоторезист — сущ., кол во синонимов: 2 • материал (306) • резист (5) Словарь синонимов ASIS. В.Н. Тришин. 2013 …   Словарь синонимов

  • фоторезист — Светочувствительная жидкость, наносимая на подложку в виде однородной тонкой пленки. После обжига выполняется экспозиция с помощью маски с конкретной конфигурацией. Материал, остающийся после проявления, сопротивляется последующим травлению или… …   Справочник технического переводчика

  • фоторезист — Термин фоторезист Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины литография, травление в литографии Определение свето или рентгеночувствительный материал на полимерной основе, используемый для нанесения пленочного покрытия на… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • фоторезист — fotorezistas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. optical resist; photoresist; photosensitive lacquer vok. Fotolack, m; Fotoresist, n rus. фоторезист, m pranc. photorésist, m; résine photosensible, f …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • фоторезист — fotorezistas statusas T sritis chemija apibrėžtis Elektromagnetinei spinduliuotei jautri fotolitografinė medžiaga. atitikmenys: angl. photoresist rus. фоторезист …   Chemijos terminų aiškinamasis žodynas

  • фоторезист — фоторез ист, а …   Русский орфографический словарь

  • фоторезист печатной платы — …   Справочник технического переводчика

  • фоторезист на водной основе — — [Я.Н.Лугинский, М.С.Фези Жилинская, Ю.С.Кабиров. Англо русский словарь по электротехнике и электроэнергетике, Москва, 1999 г.] Тематики электротехника, основные понятия EN water base photoresist …   Справочник технического переводчика


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»